集成電路制造業潔凈室設計的三大類型

文章出處：本站人氣：1318 發表時間：2023-04-07

集成電路制造對無塵車間的生產環境有較為嚴格的要求，所以運行成本較高，不同的工藝制程對潔凈室內潔凈度的要求也各有不同，例如光刻要求在I級的微環境下需要達10級，而化學機械研磨則只要求達1000級的潔凈度環境。并且潔凈室風速、風量調節困難，系統升級改造困難，因此操作靈活性很低。根據潔凈室車間空氣循環的特點主要可分為三大類型：

集成電路制造業潔凈室

（1）、循環風機配合濕式密封系統：設計可以滿足集成電路制造無塵車間大面積高等級的要求，但運行成本較高，并且潔凈室風速、風量調節困難，系統升級改造困難。

（2）、循環空調機配合高效送風口系統：小規模低等級要求的潔凈室車間設計中被廣泛應用，對于大面積高等級的潔凈車間則存在運行成本過高、占用空間過大等缺點。

（3）、FFU循環系統：不僅節省運行空間、潔凈度安全性高、運行成本低，而且操作靈活性很高，可以在不影響生產的情況下隨時進行系統升級和調整，這些都很好地滿足了半導體制造的需求，因此在半導體制造業FFU循環系統逐漸成為凈化行業最主要的設計方案。

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